光刻機行業(yè) 文章 進(jìn)入光刻機行業(yè)技術(shù)社區

2019年中國光刻機行業(yè)市場(chǎng)現狀、行業(yè)格局及發(fā)展趨勢分析

•   光刻技術(shù)指利用光學(xué)-化學(xué)反應原理,將電路圖轉移到晶圓表面的工藝技術(shù),光刻機是光刻工序中的一種投影曝光系統。其包括光源、光學(xué)鏡片、對準系統等。在制造過(guò)程中,通過(guò)投射光束,穿過(guò)掩膜板和光學(xué)鏡片照射涂敷在基底上的光敏性光刻膠,經(jīng)過(guò)顯影后可以將電路圖最終轉移到硅晶圓上。光刻工藝步驟繁多數據來(lái)源:公開(kāi)資料整理一、市場(chǎng)現狀及行業(yè)格局    光刻機分為無(wú)掩模光刻機和有掩模光刻機。(1)無(wú)掩模光刻機可分為電子束直寫(xiě)光刻機、離子束直寫(xiě)光刻機、激光直寫(xiě)光刻機。電子束直寫(xiě)光刻機可以用于高分辨率
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