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亞毫米波
亞毫米波 文章 進(jìn)入亞毫米波技術(shù)社區
基于MEMS工藝的八角形前腔 亞毫米波集成喇叭天線(xiàn)
- 亞毫米波平面集成天線(xiàn)在亞毫米波頻段具有其獨特的優(yōu)勢，然而平面集成天線(xiàn)單元的增益較低，本文研究了一種工作于900GHz的新型的亞毫米波集成喇叭天線(xiàn)，用于增強平面集成天線(xiàn)單元的輻射性能。該喇叭天線(xiàn)的加工綜合運用MEMS干法刻蝕和濕法腐蝕兩種工藝，其結構包括棱錐形喇叭背腔和八角形喇叭前腔兩部分，在可實(shí)現的MEMS工藝下，具有可調參數多的優(yōu)點(diǎn)。
- 關(guān)鍵字： 亞毫米波 平面集成天線(xiàn) MEMS 集成喇叭天線(xiàn)
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亞毫米波介紹
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