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全球首個(gè)100mm的金剛石晶圓
- 近日，總部位于加利福尼亞州舊金山的Diamond Foundry Inc宣布制造出了世界上第一塊直徑為 100 毫米的單晶金剛石晶圓。該公司計劃提供金剛石基板作為改善熱性能的途徑，這反過(guò)來(lái)又可以改善人工智能計算和無(wú)線(xiàn)通信以及更小的電力電子設備。該公司使用一種稱(chēng)為異質(zhì)外延的工藝來(lái)沉積碳原子，并在可擴展的基底上制造單晶金剛石。以前已經(jīng)生產(chǎn)過(guò)金剛石晶片，但它是基于壓縮金剛石粉末，缺乏單晶金剛石的特性。Diamond Foundry 表示，其下一個(gè)目標是降低金剛石晶圓的缺陷密度，以實(shí)現比硅高 17,200 倍、比
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100mm介紹
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